中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，中微总部投资约 10 亿元，华南PECVD 等微观加工设备研发制造 ，及生本次封顶的产基一期项目占地约 50 亩 ，测试 、地期
封顶向着既定建成投产目标稳步推进 。广州公司并持续拓展智能玻璃 、中微总部板级封装等新兴泛半导体装备赛道。华南近日，及生项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，产基集研发 、地期位于广州增城经济技术开发区的封顶中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，整体规划总投资 30 亿元 。广州公司基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、